SIOS Meßtechnik GmbH
Am Vogelherd 46
98693 Ilmenau
Tel.: +49 3677 64470
Fax: +49 3677 64478
contact@sios.de
www.sios.de
AP: Dr. Denis Dontsov
 
SIOS produziert hochgenaue laserinterferometrische Messsysteme zur Längen-, Winkel-, Geradheits- und
Schwingungsmessung mit höchster Auflösung und Präzision in einem weiten Messbereich: Ein- und Mehr-
strahlinterferometer, 5DOF-Systeme, Laserinterferometrische Vibrometer, Messtaster und Kalibriersysteme,
Nanopositionier- und Nanomessmaschinen, Stabilisierte He-Ne-Laser, Komparator-Wägetechnik.

SIOS produces precision laserinterferometric measuring systems for use in nanometrology that measure
length, angle, straightness and vibration with ultrahigh resolution in a wide measuring range: Single- and
Multi-beam Interferometers, 5DOF-Systems, Laserinterferometric Vibrometers, Gauging probes and Ca-
libration systems, Nanopositioning and Nanomeasuring machines, Stabilized HeNe-Lasers, Comparator
scales.