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SIOS Meßtechnik GmbH Am Vogelherd 46 98693 Ilmenau Tel.: +49 3677 64470 Fax: +49 3677 64478 contact@sios.de www.sios.de Dr. Denis Dontsov |
SIOS produziert hochgenaue laserinterferometrische Messsysteme zur Längen-, Winkel-, Geradheits- und Schwingungsmessung mit höchster Auflösung und Präzision in einem weiten Messbereich: Ein- und Mehr- strahlinterferometer, 5DOF-Systeme, Laserinterferometrische Vibrometer, Messtaster und Kalibriersysteme, Nanopositionier- und Nanomessmaschinen, Stabilisierte He-Ne-Laser, Komparator-Wägetechnik. SIOS produces precision laserinterferometric measuring systems for use in nanometrology that measure length, angle, straightness and vibration with ultrahigh resolution in a wide measuring range: Single- and Multi-beam Interferometers, 5DOF-Systems, Laserinterferometric Vibrometers, Gauging probes and Ca- libration systems, Nanopositioning and Nanomeasuring machines, Stabilized HeNe-Lasers, Comparator scales. |