Am Vogelherd 46
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AP: Dr. Denis Dontsov
Schwingungsmessung mit höchster Auflösung und Präzision in einem weiten Messbereich: Ein- und Mehr-
strahlinterferometer, 5DOF-Systeme, Laserinterferometrische Vibrometer, Messtaster und Kalibriersysteme,
Nanopositionier- und Nanomessmaschinen, Stabilisierte He-Ne-Laser, Komparator-Wägetechnik.
SIOS produces precision laserinterferometric measuring systems for use in nanometrology that measure
length, angle, straightness and vibration with ultrahigh resolution in a wide measuring range: Single- and
Multi-beam Interferometers, 5DOF-Systems, Laserinterferometric Vibrometers, Gauging probes and Ca-
libration systems, Nanopositioning and Nanomeasuring machines, Stabilized HeNe-Lasers, Comparator
scales.