SIOS Meßtechnik GmbH
Am Vogelherd 46
98693 Ilmenau
Phone: +49 3677 64470
Fax: +49 3677 64478
contact@sios.de
www.sios.de
AP: Dr. Walter Schott
 
SIOS produziert hochgenaue laserinterferometrische Messsysteme zur Längen-, Winkel-, Geradheits-
und Schwingungsmessung mit höchster Auflösung und Präzision in einem weiten Messbereich: Ein-
und Mehrstrahlinterferometer, 5DOF-Systeme, Laserinterferometrische Vibrometer, Messtaster und
Kalibriersysteme, Nanopositionier- und Nanomessmaschinen, Stabilisierte He-Ne-Laser, Komparator-
wägetechnik.

SIOS produces precision laserinterferometric measuring systems for use in nanometrology that measure
length, angle, straightness and vibration with ultrahigh resolution in a wide measuring range: Single- and
Multi-beam Interferometers, 5DOF-Systems, Laserinterferometric Vibrometers, Gauging probes and
Calibration systems, Nanopositioning and Nanomeasuring machines, Stabilized HeNe-Lasers, Com-
parator scales.