Am Vogelherd 46
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AP: Dr. Walter Schott
und Schwingungsmessung mit höchster Auflösung und Präzision in einem weiten Messbereich: Ein-
und Mehrstrahlinterferometer, 5DOF-Systeme, Laserinterferometrische Vibrometer, Messtaster und
Kalibriersysteme, Nanopositionier- und Nanomessmaschinen, Stabilisierte He-Ne-Laser, Komparator-
wägetechnik.
SIOS produces precision laserinterferometric measuring systems for use in nanometrology that measure
length, angle, straightness and vibration with ultrahigh resolution in a wide measuring range: Single- and
Multi-beam Interferometers, 5DOF-Systems, Laserinterferometric Vibrometers, Gauging probes and
Calibration systems, Nanopositioning and Nanomeasuring machines, Stabilized HeNe-Lasers, Com-
parator scales.